スリットバルブは、真空システムにおけるキャビティ分離およびスイッチング制御のための特別な部品である。これは、ゲート駆動遮断弁の範疇に属する、転送チャンバとプロセスチャンバとの間の矩形の「転送スリット」開口に適合するように命名されている。そのコンパクトな構造と信頼性の高いシール性能により、ハイエンド製造と科学研究分野の真空システムの重要な部品となっている。その核心設計は真空環境の密封と隔離要求をめぐって開発され、開閉応答と清潔度制御を考慮し、各種の劣悪な作業条件に適している。
動作原理から言えば、スリットバルブはシャッタの線形運動によって流路のスイッチを実現し、キャビティ間に隔離障壁を形成する。閉鎖状態では、シャッタがバルブシートに密着し、気体の流れが構造圧力とシール部材の特性に遮られ、キャビティ内の真空状態を維持する。開状態では、シャッタはバルブチャンバの上部に垂直に上昇し、下降し、流路を完全に円滑にし、ウェハや基板などのワークの移送やガス循環に通路を提供する。空力、電動などの駆動方式をサポートし、システムの自動化要求に応じて選択することができる。一部のモデルでは、高周波動作条件下での動作リズムに適応するために、迅速なオン/オフ動作を実現することができます。
スリットバルブの構造設計は明らかな目標性を持っている。バルブボディは主にステンレス鋼などの耐食性材料で作られ、プロセス媒体と環境の浸食に抵抗し、使用寿命を延長することができる。シール構造は最適化され、特殊シールを配合し、低漏洩性能を実現し、高真空と超高真空環境の気密性要求を満たすことができる。清潔度の要求を満たすために、この製品は低粒子発生設計を採用し、ドアパネルの運動と摩擦による不純物を減らし、真空環境の汚染を避ける。同時に、全体構造はコンパクトで、取り付け深さはスリット開口の空間制限に適応し、伝送キャビティとプロセスキャビティのインタフェース位置にシームレスに集積することができ、同時に取り付けの利便性とシステム互換性を考慮する。
核心的な特徴も仕事条件の適応性に現れている。一部のモデルは高温真空焼成作業条件をサポートし、シール性能に影響を与えずに一定範囲の温度変化に耐えることができる、全金属シールモデルは、より劣悪な使用環境に適応し、高圧と温度変動による課題に対応することができる。また、バルブは運転中に高い安定性を持ち、開閉を繰り返した後もシール効果と安定した運動を維持でき、メンテナンス頻度を低下させることができる。